一．无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱概述

 应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

二．无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱技术参数

1.主要技术指标

Ø 材质：外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢

Ø 温度范围：RT+10-200、400℃

Ø 温度分辨率：0.1℃

Ø 温度波动度：＜±1℃

Ø 温度均匀度：≤±2%

Ø 洁净度：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

Ø 升温时间：5-8℃/min，（空箱测试）

Ø 降温时间：可满足130℃-50℃，降温5℃/min（空箱测试）

Ø 氧含量

高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量

低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量

Ø 数据输出：温度和氧含量无纸记录仪

2.系统结构

Ø 热风循环系统：采用覆套式电热器）无尘无氧化电热发生器

Ø 气体系统：HEPA过滤效果可达99.99%,Class100箱体内装有氧含量分析仪

Ø 水冷系统：翅片式水冷散热器，冷却水通过散热器快速带走更多的热量，使得箱内温度快速下降

Ø 温控系统：采用日本RKC-PF900温度控制器，内置斜率设定、PID自整定

Ø 软件系统：控制系统采用日本三菱公司FX3G系列高速型逻辑控制器，可与现场总线联机远程操控

3. 安全保护性能

Ø 报警功能：1）三色报警灯 2）超温报警  3）热电偶故障报警  4）低水压报警

Ø 安保功能：1）短路保护

 2）漏电保护

 3）超温保护，独立感温式超温保护器

 4）电机保护，电机过电流、水冷保护

 5）电磁门禁保护，当温度超过100℃，电子锁自动锁紧，防止高温开门

三、无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱安装条件

Ø 环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；

Ø 周围无强烈震动；   

Ø 无阳光直接照射或其它热源直接辐射，

Ø 周围无强烈电磁场影响；

Ø 周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；

Ø 百级洁净车间；

Ø 周围无强烈气流，当周围空气需要强制流动时，气流不应在直接吹到箱体上；

Ø 设备应放在坚固平稳的平面上，并使其保持水平状态；

Ø 安装设备使用空开电源 ；

四．无尘无氧烤箱，PI胶固化烤箱常用规格