前烘氮气烘箱，硬烘洁净烘箱用途

 前烘可在热烘板或氮气烘箱中进行,本课题采用的热风烘箱为隽思氮气洁净烘箱，由于在鼓风烘箱中对流烘烤将会使前烘进行的更加均匀，所以在鼓风箱中前烘的效果将会更理想。

前烘是在涂胶结束后进行,它的作用有以下几个方面

驱赶胶中的溶剂

提高胶对衬底的黏附性

提高胶的抗腐蚀能力

优化胶的光学吸收特性

提高涂胶的均匀性

提高条宽控制能力

通过前烘，基片上的光刻胶基本固化。

前烘氮气烘箱，硬烘洁净烘箱性能：

洁净度：Class100;   

温度：RT+15～200℃；

气体：N2 

计时功能：0-99H99M99S 

设备材质：内部SUS304不锈钢      

工作尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

（可定制）      

网板：活动式2块

前烘氮气烘箱，硬烘洁净烘箱适用性：

氮气烘箱也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、MEMS、医药、实验室等生产及科研.